| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
电子束曝光机 |
| 预算金额（元）: |
4,800,000.000 |
| 采购品目: |
教学仪器 |
| 采购需求概况: |
电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用，使胶由长（短）链变成断（长）链，实现曝光，相比于光刻机具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究。 |
| 预计采购时间: |
2025-3 |
| 联系人: |
陈老师 |
| 联系电话: |
13252981106 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250304/6d366c09-edfe-4747-bad3-770ed8b1c807.html
