深圳大学多功能集成薄膜沉积设备意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:多功能集成薄膜沉积设备

预算金额（元）:1,980,000.000

采购品目:压片加工设备

采购需求概况:多功能集成薄膜沉积设备一台。该设备采用复合沉积方式，支持金属、介质/氧化物等多种薄膜材料制备。工艺腔具备高极限真空度，样品台可旋转并带水冷功能；配备高精度膜厚监控系统，可实现精准厚度与镀率控制，满足多层光学膜精密堆栈要求。设备设有独立进样腔及等离子体清洗功能。供应商需提供长期工艺指导及快速响应的维保服务。

预计采购时间:2026-6

联系人:陈老师

联系电话:0755-86573795

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20260506/6a3a4ec8-d762-477c-af4b-aabff3da9136.html