深圳大学电子束光刻机维修意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:电子束光刻机维修

预算金额（元）:1,508,600.000

采购品目:其他服务

采购需求概况:现计划对一台Raith EBPG 5150型号电子光刻机的高压组件进行专业的维修与更换作业。为确保设备性能恢复至原厂标准，本次采购对质量与技术提出以下核心要求：供应商须承诺使用设备原厂的全新正品配件，并须在投标时提供清晰的原厂配件采购证明文件；所有现场维修操作必须由具备原厂系统培训背景并获得认证资格的工程师执行，以确保维修操作的规范性。在技术指标上，维修完成后设备必须能够稳定升压至100kV的设计高压值，并在此状态下持续稳定运行，需通过必要的现场测试验证。

预计采购时间:2026-3

联系人:刘老师

联系电话:18125385146

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20260106/9a5ab55b-8fc8-40b2-807b-ab78f5b99f39.html