| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
四腔室PECVD |
| 预算金额（元）: |
1,800,000.000 |
| 采购品目: |
核技术应用设备 |
| 采购需求概况: |
用来制备高纯锗单晶、硅单晶深槽中子探测器时，在表面沉积多种介质膜。为了防止交叉污染，需要配备四腔室；分别完成本征薄膜、SiNx/SiONx/SiO2膜、掺碳薄膜和n型薄膜的生长。具备2英寸、4英寸和6英寸处理能力。 |
| 预计采购时间: |
2024-12 |
| 联系人: |
胡老师 |
| 联系电话: |
13924650717 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20241001/ca43cd4d-926a-4b03-8cfc-0aea3003d1bd.html
