| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
高真空电子束蒸发薄膜制备设备 |
| 预算金额（元）: |
1,900,000.000 |
| 采购品目: |
真空应用设备 |
| 采购需求概况: |
用于4英寸样品的高真空电子束蒸发薄膜制备，主要组件与参数如下：6 kW电子束源，含6坩埚靶位，带电子束束斑扫描控制器；主工艺腔高度≥ 800 mm，带全量程真空计，真空系统采用前级干泵 涡轮分子泵配置，极限真空≤ 7.5×10-8 Torr；石英晶振膜厚计和控制器，镀率厚度分辨率≤ 0.015 ？/s；4英寸旋转样品台，带循环水冷；配备Load-lock进样仓，满足4英寸样品进样，带全量程真空计，真空系统采用前级干泵 涡轮分子泵配置，极限真空≤7.5×10-6 Torr；PLC控制系统，用于真空系统和电子束蒸发系统的参数监测和控制。 |
| 联系人: |
尚老师 |
| 联系电话: |
13028822347 |
| 预计采购时间: |
2024-02 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准原网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20240126/5fb4a373-2796-4ef8-949d-b501875d0b14.html
