采购公告

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2022/05/17 15:12:00

采购单位:	深圳大学
项目名称:	超精密加工相关设备
预算金额（元）:	1600000.00
采购品目:	其他机械设备
采购需求概况:	国产6英寸化学机械研磨机台,该机台由研磨盘，研磨头，研磨头气压控制系统，研磨液供应单元。主要用于研磨6寸晶圆，可以研磨氧化硅，氮化硅和各种金属膜。该机台可以实现研磨的程序化，可以程序控制研磨的压力、时间、研磨液的流量和时间，以更灵活的实现可控制的研磨效果。需要机台能够研磨6寸晶圆，研磨的压力在0.5-15psi范围可调，研磨头能分3个区控制压力，研磨盘的转速能达到150RPM，研磨后NU要小于6%，并且机台能够自动化选片。
联系人:	赵老师
联系电话:	15019476845
预计采购时间:	2022-06
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准