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深圳大学定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站意向公开

2022/10/21 16:11:00

深圳大学定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站意向公开
采购单位:深圳大学
项目名称:定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站
预算金额(元):1,550,000.000
采购品目:其他机械设备
采购需求概况:设备为深圳市基础研究重点项目合同中约定的采购设备,为定制化的精密设备,进行光刻机镜头的纳米级研磨。设备功能与主要技术参数按以下要求:
(1)该设备用于非球面镜头的研磨:
(2)研磨机器人的其正前方500mm运动范围内重复定位精度为0. 02mm;
(3)采用ABB力控系统,力传感器精度≤6N,分辨率≤0. 1N:
(4)转台在半径500mm时,重复定位精度士0.07mm;
(5)产品工装机械定位重复定位精度≤0.02mm;
设备安置地点在深圳大学沧海校区致信楼S108洁净间。
联系人:郭老师
联系电话:13590368407
预计采购时间:2022-11
备注:单一来源采购
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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