采购公告

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采购单位:	深圳大学
项目名称:	双面掩膜对准系统
预算金额（元）:	4,400,000.000
采购品目:	电子工业生产设备
采购需求概况:	晶圆尺寸最大可达300 mm 线宽0.5 微米以上支持背面对准光刻和键合对准工艺物镜最小间距达8 mm，满足小片和碎片的曝光应用
联系人:	王老师
联系电话:	0755-86936607
预计采购时间:	2023-07
备注:	无